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      超声波传感器助力监测半导体纯水储存罐液位变化

      发布时间:2021-11-3     来源:搜狐新闻

      伴随着芯片的集成度越来越高,半导体制造的先进程度也逐渐提升。在芯片半导体的生产加工过程中要不断用水清洗,对水质的纯度要求特别高,要求达到ppb级别,所以为了保证生产出超大规模的集成电路,除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外,超纯水也是其中最关键的因素之一。

      半导体包括芯片,存储器等产品在生产过程中需要经历上百道清洗程序,而为保证半导体精度,其工艺技术中要求用到纯水清洗,清洗所需的超纯水必须达到电子级,为了避免其中混入杂质,而影响半导体产品功能,进而影响半导体产品的性能及寿命。

      超声波传感器恰恰解决了这个问题,超声波传感器能够实现非接触测量,不仅做到非接触测量,减少二次污染,还有超声波传感器特有的自适应功能及滤波功能,达到精准的液位检测。

      因此对工业清洗半导体的纯水主要储存在其内部的储水罐中对于其液位的控制非常重要,要求纯水的液位高度保持恒定。而且是透明的特殊这一特性,其它的传感器也很难做到如此有效精确检测。

      半导体生产线储水罐里面的原料是纯水,透明且不带导电性,要求无污染,还要求传感器要做到精确检测;除此之外存放纯水的储水罐是个封闭的容器,有些储水罐里面带有搅拌机构以及进水泵和出水泵,导致其液位或者料位在搅拌的过程中会波动,这也为准确测量液位或料位带来困难。

      利用超声波传感器实时监控液位的高度,以此来保持储水罐的水位高度恒定,从而跟进纯水的特性。

      关于超声波传感器

      超声波传感器是将超声波信号转换成其他能量信号(通常是电信号)的传感器。超声波是振动频率高于20kHz的机械波。它具有频率高、波长短、绕射现象小,特别是方向性好、能够成为射线而定向传播等特点。超声波对液体、固体的穿透本领很大,尤其是在阳光不透明的固体中。超声波碰到杂质或分界面会产生显著反射形成反射回波,碰到活动物体能产生多普勒效应。


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